微加速度稱重傳感器的特殊設(shè)計(jì)

稱重傳感器，硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個(gè)進(jìn)入市場(chǎng)的微機(jī)械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中最具有吸引力的是力平衡加速度計(jì)，其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人在1994年報(bào)道的AGXL50型，其結(jié)構(gòu)包括4個(gè)部分：質(zhì)量塊、檢測(cè)電容、力平衡執(zhí)行器和信號(hào)處理電路，集成制作在3mm×3mm的硅片上，其中機(jī)械部分采用表面微機(jī)械工藝制作，電路部分采用BiCMOSIC技術(shù)制作。隨后Zimmermann等人報(bào)道了利用SIMOXSOI芯片制作的類似結(jié)構(gòu)，Chan等人報(bào)道了測(cè)量范圍在5g和1g的改進(jìn)型力平衡式加速度傳感器。這種傳感器在汽車的防撞氣袋控制等領(lǐng)域有廣泛的用途，成本在15美元以下。
根據(jù)傳感器或變送器的安裝場(chǎng)所有無(wú)易燃易爆氣體及危險(xiǎn)程度，選擇隔爆型及本安型。????
（1）隔爆型在內(nèi)部電路和周圍易燃?xì)怏w之間采取了隔離措施，允許使用在有一定危險(xiǎn)性的環(huán)境里 。
（2）本安型即本質(zhì)安全型的簡(jiǎn)稱，依靠特殊設(shè)計(jì)的電路保證在正常工作及故障（意外短路或斷路）狀態(tài)下都不會(huì)引起燃爆事故，可用在十分易燃易爆的場(chǎng)所。?
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