力敏傳感器是用來(lái)檢測(cè)氣體、固體、液體等物質(zhì)間相互作用力的傳感器。常用材料有半導(dǎo)體、金屬及合成材料。目前常用的主要是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器。硅壓力傳感器優(yōu)點(diǎn)是,靈敏度好、精度高、缺點(diǎn)是受溫度影響大。
力敏傳感器的主要應(yīng)用于裝備制造業(yè)工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)、機(jī)電一體化、科學(xué)測(cè)試儀器等裝備制造業(yè),主要涉及過(guò)程控制用壓力、流量?jī)纱髤?shù)的檢測(cè)、控制和執(zhí)行。
汽車(chē)制造業(yè)
汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)管理系統(tǒng)(EMS),涉及壓力、位置、轉(zhuǎn)速、加速度等各種信息進(jìn)行實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確的檢測(cè)和控制,EMS不僅可精確控制燃油供給量,以取代傳統(tǒng)的“化油器”,而且可以控制點(diǎn)火提前角和總空氣流量,極大提高發(fā)動(dòng)機(jī)性能,通過(guò)噴油和點(diǎn)火的精確控制,可以降低50%污染物排放。胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是在每一個(gè)輪樞內(nèi)安裝微型壓力傳感器來(lái)測(cè)量輪胎氣壓,并通過(guò)無(wú)線電發(fā)射器將信息傳到駕駛員前方的監(jiān)視器上,胎壓太低時(shí),發(fā)出自動(dòng)報(bào)警,這樣能保證安全駕駛,延長(zhǎng)輪胎使用壽命,并達(dá)到省油目的。特別是檢測(cè)輪胎氣壓的TPWS系統(tǒng),充當(dāng)汽車(chē)行業(yè)的急先鋒,目前輕型汽車(chē)用TPWS更換困難,正在全力開(kāi)發(fā)無(wú)線系統(tǒng)的TPWS系統(tǒng)技術(shù);汽車(chē)安保系統(tǒng),防止車(chē)輛被盜、傾斜采用二軸加速度傳感器,當(dāng)發(fā)生盜竊時(shí),車(chē)輛被托起而導(dǎo)致車(chē)輛傾斜而報(bào)警,另一種是氣囊用傳感器。
家用電器和消費(fèi)電子業(yè)
家用電器和消費(fèi)電子業(yè)正向自動(dòng)化、智能化、節(jié)能、無(wú)污染方向發(fā)展,要求力敏元件和傳感器亦與該方向一致,自動(dòng)化和智能化的中心就是研制由傳感器和微電腦組成的控制系統(tǒng)。如一臺(tái)空調(diào)器采用微電腦配合傳感技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)壓縮機(jī)的啟動(dòng)、停機(jī)、風(fēng)扇換向等控制系統(tǒng)。
硅基力敏元和傳感器的應(yīng)用通常涉及壓力測(cè)量、差壓測(cè)量、液位測(cè)量等,有關(guān)應(yīng)用涉及到的測(cè)量放大電路如:同相串聯(lián)差動(dòng)運(yùn)算放大電路、同相并聯(lián)差動(dòng)運(yùn)算放大電路、儀用放大電路、調(diào)幅電路、調(diào)頻電路等。