就單一傳感器而言，微型傳感器是指尺寸微小的傳感器，如敏感元件的尺寸從微米級(jí)到毫米級(jí)、甚至達(dá)到納米級(jí)，主要采用精密加工、微電子以及微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)傳感器尺寸的縮小。
?就集成的傳感器而言，微型傳感器是指將微小的敏感元件、信號(hào)處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一塊芯片上而形成的集成的傳感器。
?就傳感器系統(tǒng)而言，微型傳感器是指?jìng)鞲邢到y(tǒng)中不但包括微傳感器，還包括微執(zhí)行器，可以獨(dú)立工作，甚至由多個(gè)微型傳感器組成傳感器網(wǎng)絡(luò)，或者可實(shí)現(xiàn)異地聯(lián)網(wǎng)。
　　微型傳感器的特點(diǎn):
　　(1)體積小、重量輕
　?、乒牡?BR>　　⑶性能好
　?、纫子谂可a(chǎn)、成本低
　?、杀阌诩苫投喙δ芑?BR>　　⑹提高傳感器化智能化水平